楚環(huán)科技RTO系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)治理應(yīng)用

時(shí)間：2024-07-09 13:37

來(lái)源：楚環(huán)科技

本文主要是概述了楚環(huán)科技承接的車(chē)間生產(chǎn)線(xiàn)廢氣治理項(xiàng)目。

項(xiàng)目背景

業(yè)主是一家高端光學(xué)膜材科技企業(yè)。聚焦高機(jī)能材料領(lǐng)域，以光學(xué)設(shè)計(jì)、精密涂布工藝、核心材料技術(shù)為支柱，構(gòu)建高端光學(xué)膜材產(chǎn)品解決方案創(chuàng)新平臺(tái)。其產(chǎn)品覆蓋電視/IT顯示表面處理、OLED顯示光學(xué)薄膜、車(chē)載顯示光學(xué)薄膜和uLED/mLED顯示光學(xué)薄膜等多個(gè)領(lǐng)域。

制造基地項(xiàng)目效果圖

該公司總部及高機(jī)能半導(dǎo)體材料研發(fā)制造基地項(xiàng)目總投資約30億元。項(xiàng)目建設(shè)分為涂布型OLED相位差補(bǔ)償膜項(xiàng)目和集成電路功能膜項(xiàng)目，建成后將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈空白，實(shí)現(xiàn)OLED偏光片光學(xué)補(bǔ)償膜國(guó)產(chǎn)化，為國(guó)內(nèi)首條涂布型相位差膜量產(chǎn)線(xiàn)。杭州楚環(huán)科技股份有限公司承接本次車(chē)間生產(chǎn)線(xiàn)廢氣治理。

在此項(xiàng)目的執(zhí)行過(guò)程中，楚環(huán)科技項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)?wèi){借其卓越的執(zhí)行力及產(chǎn)出的高質(zhì)量成果，贏得了業(yè)主單位的高度認(rèn)可與贊譽(yù)。團(tuán)隊(duì)所展現(xiàn)的高度專(zhuān)業(yè)性和敬業(yè)精神，確保項(xiàng)目能夠按照既定計(jì)劃穩(wěn)步推進(jìn)，最終圓滿(mǎn)達(dá)成項(xiàng)目目標(biāo)，實(shí)現(xiàn)了完美的收官。

項(xiàng)目參數(shù)

污染來(lái)源：車(chē)間生產(chǎn)過(guò)程中涂布線(xiàn)（含配液、涂布機(jī)、干燥箱、清洗等）排放的尾氣

處理設(shè)備：冷凝+干式過(guò)濾+沸石轉(zhuǎn)輪+ RTO

廢氣風(fēng)量：75000m3/h

污染物組分：甲苯、環(huán)己酮、丙二醇甲醚、正丁酯、仲丁醇、雙丙酮醇

處理效果：凈化效率≥98%，排放濃度：總VOCs<60mg/m3

技術(shù)設(shè)計(jì)

本項(xiàng)目對(duì)車(chē)間的涂布生產(chǎn)線(xiàn)排放的VOCs進(jìn)行治理。當(dāng)有機(jī)廢氣的流量大、濃度低時(shí)，采用直接蓄熱燃燒需消耗大量燃料時(shí)，可先采用吸附手段將有機(jī)廢氣吸附進(jìn)行濃縮，然后再通過(guò)高溫?zé)犸L(fēng)吹掃，使有機(jī)廢氣脫附成為高濃度廢氣后再進(jìn)行熱氧化分解。當(dāng)廢氣濃度足夠高時(shí)，僅需要補(bǔ)充少量熱源就可維持系統(tǒng)正常運(yùn)行。采用轉(zhuǎn)輪吸脫附+蓄熱氧化裝置進(jìn)行廢氣凈化處理，沸石轉(zhuǎn)輪處理設(shè)計(jì)濃縮7~10倍，濃縮后的小風(fēng)量高濃度廢氣由風(fēng)機(jī)引入RTO爐進(jìn)行氧化分解，轉(zhuǎn)輪的脫附熱空氣可利用RTO配置的高溫?fù)Q熱器進(jìn)行預(yù)熱。