Picarro宣布用于半導體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測系統(tǒng)

時間：2020-04-28 10:57

來源：Picarro, Inc.

加利福尼亞州圣克拉拉市2020年3月25日 /美通社/ -- Picarro宣布推出經我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM（取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測Monitor）。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領先的基于CRDS的傳感器組成，該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣，而不會影響傳感器的性能。

Picarro AMC Monitoring System

新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產品到系統(tǒng)解決方案的重大轉變。一站式的設計、制造和測試系統(tǒng)的好處包括：

針對Picarro硬件和軟件設計且完全集成的系統(tǒng)——無集成兼容性問題

Picarro SAM系統(tǒng)進行過精心優(yōu)化——系統(tǒng)性能符合Picarro Semi系統(tǒng)規(guī)格

新發(fā)明的、正在申請專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢，使其在很短的時間內達到萬億分之幾（ppt）的檢測靈敏度，并能快速將SAM系統(tǒng)恢復到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實時AMC監(jiān)視系統(tǒng)的理想選擇。該系統(tǒng)帶有易于使用的圖形用戶界面，可進行各種圖表和趨勢分析。

SAM可以配置為從8個或16個端口采樣，并且目前可用于檢測氨、氟化氫和鹽酸，這三個關鍵AMC會影響半導體晶圓的產量。展望未來，我們將根據Picarro的半導體產品路線圖為其它氣體提供SAM系統(tǒng)。

SAM系統(tǒng)路線圖還將支持復雜的AMC分析，以幫助客戶更準確地快速識別AMC事件的位置，從而允許采取更快的糾正措施，以提高與AMC相關的晶圓產量。

關于Picarro：

Picarro為實時AMC監(jiān)測提供行業(yè)領先的解決方案。與現(xiàn)有的AMC測量技術（例如離子遷移譜（IMS）和離子色譜法）相比，其光腔衰蕩光譜技術（CRDS）具有明顯的優(yōu)勢。 Picarro的SI2000系列分析儀可在數秒而不是數小時內對快速潔凈室中的污染物進行響應。 Picarro分析儀具有萬億分之一（ppt）含量水平的實時連續(xù)分析功能，可為無塵室、FOUP和晶圓廠設備中的AMC監(jiān)控提供污染事件的預警。

編輯：李丹

0贊