3.12

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) standard condition

溫度為273.15K、壓力為101 325 Pa 時(shí)的狀態(tài)。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大氣污染物排放濃度限值均以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的干氣體為基準(zhǔn)。

3.13

企業(yè)邊界 enterprise boundary

指半導(dǎo)體工業(yè)企業(yè)的法定邊界。若難以確定法定邊界，則指企業(yè)的實(shí)際占地邊界。

4 水污染物排放控制要求

4.1 水污染物排放限值見表1。

4.2 企業(yè)向城鎮(zhèn)污水處理廠排放廢水時(shí)，其第二類水污染物排放應(yīng)達(dá)到表1中間接排放限值；廢水進(jìn)入具備處理此類污水工藝和能力的集中式工業(yè)廢水處理廠的企業(yè)，其第二類水污染物排放可與集中式工業(yè)污水處理廠商定間接排放限值，并簽訂協(xié)議報(bào)當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)主管部門備案。企業(yè)與集中式工業(yè)廢水處理廠商定的間接排放限值，不得寬于《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》中規(guī)定的接管限值。未簽訂協(xié)議的企業(yè)，其第二類水污染物執(zhí)行表1中的間接排放限值。

4.3在國土開發(fā)密度高、環(huán)境承載能力開始減弱，或水環(huán)境容量較小、生態(tài)環(huán)境脆弱，容易發(fā)生嚴(yán)重水環(huán)境污染問題而需要采取特別保護(hù)措施地區(qū)的企業(yè)，根據(jù)生態(tài)環(huán)境保護(hù)工作要求，執(zhí)行表1規(guī)定的特別排放限值。

執(zhí)行水污染物特別排放限值的地域范圍、時(shí)間，由省級生態(tài)環(huán)境主管部門或設(shè)區(qū)市人民政府規(guī)定。

4.4不同類型的半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)，其單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量執(zhí)行表2規(guī)定。

4.5水污染物排放限值適用于單位產(chǎn)品實(shí)際排水量不高于單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量的情況。若單位產(chǎn)品實(shí)際排水量超過單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量，應(yīng)按公式（1）將實(shí)測水污染物濃度換算為水污染物基準(zhǔn)水量排放濃度，并以水污染物基準(zhǔn)水量排放濃度作為判定排放是否達(dá)標(biāo)的依據(jù)。產(chǎn)品產(chǎn)量和排水量統(tǒng)計(jì)周期為一個(gè)工作日。

在企業(yè)的生產(chǎn)設(shè)施同時(shí)生產(chǎn)兩種以上產(chǎn)品，可適用不同排放控制要求或不同行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，且生產(chǎn)設(shè)施產(chǎn)生的污水混合處理排放的情況下，應(yīng)執(zhí)行排放標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的最嚴(yán)格的濃度限值，并按公式（1）換算水污染物基準(zhǔn)水量排放濃度：

5 大氣污染物排放控制要求

5.1 有組織排放控制要求

5.1.1 大氣污染物排放限值見表3。 

5.1.2 廢氣收集處理系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備同步運(yùn)行。廢氣收集處理系統(tǒng)發(fā)生故障或檢修時(shí)，對應(yīng)的生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)停止運(yùn)行，待檢修完畢后同步投入使用；生產(chǎn)工藝設(shè)備不能停止運(yùn)行或不能及時(shí)停止運(yùn)行的，應(yīng)設(shè)置廢氣應(yīng)急處理設(shè)施或采取其他替代措施。

5.1.3 進(jìn)入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣含氧量可滿足自身燃燒、氧化反應(yīng)，不需另外補(bǔ)充空氣的（燃燒器需要補(bǔ)充空氣助燃的除外），以實(shí)測濃度作為達(dá)標(biāo)判定依據(jù)，但裝置出口煙氣含氧量不得高于裝置進(jìn)口廢氣含氧量。

吸附、吸收、冷凝、生物、膜分離等其他VOCs處理設(shè)施，以實(shí)測濃度作為達(dá)標(biāo)判定依據(jù)，不得稀釋排放。

進(jìn)入VOCs燃燒（焚燒、氧化）裝置的廢氣需要補(bǔ)充氧氣（空氣）進(jìn)行燃燒、氧化反應(yīng)的，排氣筒中實(shí)測大氣污染物排放濃度，應(yīng)按公式（2）換算為基準(zhǔn)含氧量為3%的大氣污染物基準(zhǔn)排放濃度。

5.1.4 排放氯氣、氰化氫的排氣筒高度不低于25m，其他排氣筒高度不低于15m（因安全考慮或由特殊工藝要求的除外），具體高度以及與周圍建筑物的距離應(yīng)根據(jù)環(huán)境影響評價(jià)文件確定。

5.1.5 當(dāng)執(zhí)行不同排放控制要求的廢氣合并排氣筒排放時(shí)，應(yīng)在廢氣混合前進(jìn)行監(jiān)測，并執(zhí)行相應(yīng)的排放控制要求；若可選擇的監(jiān)控位置只能對混合后的廢氣進(jìn)行監(jiān)測，則應(yīng)按各排放控制要求中最嚴(yán)格的規(guī)定執(zhí)行。

5.2 無組織排放控制要求

企業(yè)邊界大氣污染物任何1小時(shí)平均濃度執(zhí)行表4 規(guī)定的限值。

6 污染物監(jiān)測要求

6.1 污染物監(jiān)測的一般要求

6.1.1 企業(yè)應(yīng)按照《環(huán)境監(jiān)測管理辦法》等規(guī)定，建立企業(yè)監(jiān)測制度，制定監(jiān)測方案，對污染物排放狀況及其對周邊環(huán)境質(zhì)量的影響開展自行監(jiān)測，保存原始監(jiān)測記錄，并公布監(jiān)測結(jié)果。

6.1.2 企業(yè)安裝污染源排放自動(dòng)監(jiān)控設(shè)備的要求，按有關(guān)法律和《污染源自動(dòng)監(jiān)控管理辦法》的規(guī)定執(zhí)行。

6.1.3 企業(yè)應(yīng)按照環(huán)境監(jiān)測管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設(shè)計(jì)、建設(shè)、維護(hù)永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標(biāo)志。

6.1.4 對企業(yè)排放的廢水和廢氣的采樣，應(yīng)根據(jù)監(jiān)測污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進(jìn)行。有廢水、廢氣處理設(shè)施的，應(yīng)在該設(shè)施后監(jiān)控。

6.2 水污染物監(jiān)測要求

6.2.1 水污染物的監(jiān)測采樣按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的規(guī)定執(zhí)行。

6.2.2 對企業(yè)排放水污染物濃度的測定采用表5所列的方法標(biāo)準(zhǔn)。

6.2.3 本標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施后，表5所列污染物如有新發(fā)布的國家環(huán)境監(jiān)測分析方法標(biāo)準(zhǔn)，其方法適用范圍和條件相同的，也適用于本排放標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)污染物的測定。

編輯：李丹